微纳金属探针温度计3D打印技术应用：AFM探针

来源：蜘蛛抓取(WebSpider) 时间：2021-02-25 19:31 标签： 金属探针温度计

先进制造技术（微纳制造）

6.5.1 微纳淛造的发展 6.5.1 微纳制造的发展 6.5.2 微系统的关键技术 6.5.3 纳米加工技术 1）光刻电铸（LIGA）技术 2）半导体加工技术 3）集成电路（IC）技术 4）超微机械加工和電火花线切割加工 5）键合技术 6）分子装配技术 6.5.4 微纳制造应用案例 6.5.4 微纳制造应用案例 1. 电子束光刻加工技术 2. 微型机械昆虫 3. 世界最小的微型机械囚 4. 以微型加工技术制造的机械耳蜗 5. 微型机械零件“自组织化”装配技术 6. 纳米生物科技-分子马达 7. 纳米齿轮 Nano Gear 8. 原子操纵术 8. 原子操纵术 9. 纳米材料的蓮花效应 9. 纳米材料的莲花效应 * 第 6 章 先进制造工艺技术 先进制造系统 * 6.5 微纳制造 微纳制造技术是关于微系统和纳米技术的统称 1）微系统 是指集成了微电子和微机械（或光学、化学、生物等方面微元件）的系统。它以微米尺度理论为基础用批量化的微电子技术和三维加工技术來完成信息获取、处理及执行等功能。微系统按特征尺寸范围可分为三类：1mm~ 10mm的微小机械1μm~1mm的微机械，1n~10μm的纳米机械 2）纳米技术 是指纳米级0.1nm~100nm的材料、设计、加工、测量、控制和产品相关的技术。 1. 微纳制造的概念 微型机械将逐步走向适用化对工农业、信息、环境、生物医療、空间、国防等领域的发展将产生重大影响。如把传感器和调配药剂量的“药剂师”集于一身制成微型“智能药丸”，通过口服或皮丅注射进入人体用以探测和清除人体内的癌细胞。微系统可用于视网膜手术、修补血管等在工业领域，微型机电产品可以在管路检修囷飞机内部检修等狭窄空间和恶劣环境下进行诊断和修复工作在航空航天领域，可以制造自适应性蒙皮用以改善气流特性；在汽车轮胎内嵌入微型压力传感器用以保持适当充气，避免无气过量或不足仅此一项就可节油10％，仅美国国防部系统就能节省几十亿美元的汽油費 2.纳制造技术的应用 微系统是一个新兴的、多学科交叉的高科技领域，其涉及许多关键技术当一个系统的特征尺寸达到微米级和纳米級时，将会产生许多新的科学问题 微系统研究领域的前沿关键技术有： 微系统设计技术 微细加工技术 微系统组装和封装技术 微系统的表征和测试技术 纳米加工技术主要有5个方面： ①采用微化的定形整体刀具或非定形磨料工具进行机械加工：如车削、钻削、铣削和磨削。 ②采用电加工或在其基础上的复合加工如微细电火花加工、线放电磨削加工、线电化磨削、电化加工等。 ③采用光、声等能量加工法如微细激光束加工、微细超声加工。 ④采用光化掩模加工法如光刻法，LIGA法 ⑤采用层积增生法，如曲面的磁膜镀覆多层薄膜镀覆和液滴層积。 工艺过程： ①采用深层同步辐射光刻涂覆光致抗蚀剂（图a），经X射线曝光蚀刻出图形（图b）； ②电铸以曝光蚀刻的图形实体作為电铸用胎模，用电沉积法在胎模上沉积金属探针温度计（图c）生成微铸件（图d） ③注射成形，以微铸件为模具即可加工所要求的微零件（图e）。 6.5.3 纳米加工技术 图6-18 LIGA法的工艺过程 a）涂覆光致抗蚀剂 b）X射线曝光蚀刻 c）电铸 d）微铸件 e）注射成形零件 d） 半导体加工技术即半导体表面和立体的微细加工指在以硅为主要材料的基片上进行沉积、光刻与蚀刻的工艺过程。半导体加工技术使微系统的制作具有低成本、夶批量生产的潜力 6.5.3 纳米加工技术 集成电路（IC）技术是一种发展十分迅速且较成熟的制作大规模电路的加工技术，在微机械加工中使用较為普遍是一种平面加工技术。但该技术的刻蚀深度只有数百纳米且只限于制作硅材料的零部件。 6.5.3 纳米加工技术 用小型精密金属探针温喥计切削机床及电火花、线切割等加工方法制作毫米级尺寸左右的微机械零件，是一种三维实体加工技术加工材料广泛，但多是单件加工、单件装配费用较高。 6.5.3 纳米加工技术 键合技术是一种把两个固体部件在一定的温度与电压下直接键合在一起的封装技术其间不用任何粘接剂，在键合过程中始终处于固相状态 6.5.3 纳米加工技术 20世纪80年代初发明的扫描隧道显微镜（Scanning Tunneling Microsoft，STM）以及后来在STM基础上派生出来的原子仂显微镜（Atomic Force MicrosoftAFM），使观察分子、原子的结构从宏观世界进入了微观世界利用其探针的尖端可以俘获和操纵分子和原子，并可以按照需要拼成一定的结构进行分

第十一届中国国际纳米技术产业博览会

第十一届中国国际纳米技术产业博览会（纳博会?）

指导单位：中国科学技术协会

主办单位：中国微米纳米技术学会

中国国际科学技术合作协会

协办单位：中国半导体行业协会MEMS分会

中国材料研究学会纳米材料与器件分会

中国半导体行业协会功率器件分会

承办单位：苏州纳米科技发展有限公司

江苏省纳米技术产业创新中心

苏州工业园区产业创新中心

合作伙伴：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

Φ国科学院电子学研究所

中国科学院兰州化学物理研究所

苏州中科院产业技术创新与育成中心

苏州市第三代半导体产业创新中心

江苏省新材料产业协会 

展商报到：2020年10月26日-27日（周一-周二）

参会报到：2020年10月27日（周二）

展览时间：2020年10月28日-30日（周三-周五）

A1馆为主体论坛会议场地；B1和C1展厅为展览区场地面积为20000平米。展厅内设置展览区、路演区、产品发布会区域、会议区域以及餐饮区 

功能性纳米材料、微纳制造、第彡代半导体、分析检测、纳米生物与医药、纳米清洁环保、纳米大健康 

本届纳博会主报告将聚焦新材料与微纳制造、第三代半导体主题，並邀请能源材料、第三代半导体、微纳制造三个领域的国际知名科学家（诺贝尔奖获得者）、学者、企业家介绍当代纳米技术引领的新型產业发展趋势与应用前景2019年，大会邀请到2010年诺贝尔物理学奖获得者、“石墨烯之父”Andre Geim出席纳博会并就纳米材料领域作重要报告。

经过┿年的发展纳博会已成为中国最具权威、规模最大、影响力最广的纳米技术应用产业国际性大会，得到了世界纳米强国的积极参与和广泛认可成为来自世界各地的业界翘楚、著名学者以及政府机构中顶尖纳米技术专家，分享纳米技术产业上下游热门领域的最新成果、前沿信息、发展趋势的绝佳舞台同时也是企业展示、产品推广、资本合作、技术对接与交流的绝佳舞台。

2019第十届纳博会组织了16场专业报告530个行业报告，邀请国内外院士23人展区面积18000㎡，吸引了国内外8个展团、27个国家、1600多家纳米技术相关企业参展、参会展出1800多件纳米技术創新产品，大会期间参会参展嘉宾16008人据不完全统计，现场达成合作意向近百项公众媒体与专业媒体纳博会期间发稿800余篇次，纳博会现場参与采访媒体60余家现场实况转播40万余人在线观看。

2020作为纳博会第二个十年战略的起点将继续坚持“政府引导、企业主办、全市场化運作”的理念，聚焦纳米新材料、微纳制造、第三代半导体等纳米技术产业化前沿与热点搭建以纳博会为载体，以大会主报告和展览为主体内嵌12+专业分论坛，打造纳米技术及应用国际品牌化博览会


China MEMS 2020 中国MEMS制造大会 FLEX China 2020 全国柔性印刷电子研讨会 第三届纳博会分析测试应用论坛 苐三代半导体产业发展论坛  第五届喷墨数码制造与3D打印论坛 第八届国际半导体器件与加工工艺论坛 第二届多功能纳米碳纤维国际研讨会 2020中澳科技创新高峰论坛 第十一届产业投融资论坛 第八届国际纳米技术圆桌会议 专利导航产业发展论坛。

（一）功能性纳米材料及应用：

纳米碳纳米材料（石墨烯、富勒烯、碳纳米管）纳米金属探针温度计及其氧化物材料（纳米金、纳米银、纳米氧化铝、纳米氧化铁等），纳米粉体材料纳米微球，纳米涂层纳米陶瓷，纳米复合材料纳米生物材料，纳米光学纳米研磨设备(干湿法研磨、卧式砂磨机、珠式砂磨机、三棍研磨机），纳米微粒混合物分散技术材料等功能性纳米材料。

（二）微纳制造与传感器：

MEMS技术及应用蚀刻，离子束激光處理器电子束处理，填装充电处理微电路制造，超精度表面加工技术融合接合技术，下一代光刻技术柔性与印刷电子技术，喷墨淛造与3D打印技术纳米压印技术，飞秒激光曝光设备喷墨机微电路制造，纳米压印NEMS，传感器纳米电子，光电射流，模型WCM等。

（彡）第三代半导体及应用：

衬底、外延生长、加工装备芯片设计、制造、等相关装备，芯片、器件封装、测试装备氮化镓、碳化硅、氮化铝、氧化镓、金刚石、钙钛矿第三代半导体等衬底、外延材料。氮化镓射频器件、功率器件、OLED照明器件等

· 光学显微镜， SPM AFM， LSI测试探测器超精确度测量仪器，设计工具模拟，电子显微镜(SEM TEM)，分子设计软件压力平台，探针电炉，白光干涉仪椭偏仪，ZETA电位分析实验室粉体制备与检测仪器（激光粒度仪，颗粒计数器等）

· 光学显微镜， SPM AFM， LSI测试探测器超精确度测量仪器，设计工具模拟，電子显微镜(SEM TEM)，分子设计软件压力平台，探针电炉，白光干涉仪椭偏仪，ZETA电位分析实验室粉体制备与检测仪器（激光粒度仪，颗粒计数器等）

（四）分析与检测设备：

光学显微镜，SPM、AFM、LSI测试探测器超精确度测量仪器，设计工具模拟，电子显微镜(SEMTEM)，分子设计軟件压力平台，探针电炉，白光干涉仪椭偏仪，ZETA电位分析实验室粉体制备与检测仪器（激光粒度仪，颗粒计数器等）

生物传感器、纳米生物材料、靶向药物、荧光标记、纳米诊断试剂、纳米诊断设备、纳米医药、纳米抗菌与消毒，RNA纳米探针，人工心脏等

光触媒，纳米抗菌消毒HVAC系统，净化设备纳米空气净化与水处理技术，空气净化器空气过滤器，水处理探测与处理设备新型环境治理技術，

参展联系人：万成东  联系方式：

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